シリンダアクチュエータの結果 ~ Joshimagesmzd

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これは、積層アクチュエータが工業的に実用化された初めての例となりました。図4 マスフローコントローラ概略図流量を調節するダイアフラムの駆動に圧電アクチュエータを使用することで、従来の電磁式弁よりも、流量を精密に高速度で制御することが用途例・使用例 p 空圧・油圧・真空機器テ...